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常用分類：

熱式

熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比。

熱式氣體質(zhì)量流量計即Mass Flow Meter（縮寫為MFM），它是氣體流量計量中新型儀表，區(qū)別于其它氣體流量計不需要進行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質(zhì)量流量，一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

熱式氣體質(zhì)量流量計是用于測量和控制氣體質(zhì)量流量的新型儀表。可用于石油、化工、鋼鐵、冶金、電力、輕工、醫(yī)藥、環(huán)保等工業(yè)部門的空氣、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣體的監(jiān)測。

特點：

1、可靠性高 重復性好 測量精度高 壓損小；

2、無活動部件量程比寬 響應速度快 無須溫壓補償。

應用：

1、工業(yè)管道中氣體質(zhì)量流量測量

2、煙囪排出的煙氣流速測量

3、、煅燒爐煙道氣流量測量

4、燃氣過程中空氣流量測量

5、、壓縮空氣流量測量

6、半道體芯片制造過程中氣體流量測量

7、、污水處理中氣體流量測量

8、加熱通風和空調(diào)系統(tǒng)中的氣體流量測量

9、、熔劑回收系統(tǒng)氣體流量測量

10、燃燒鍋爐中燃燒氣體流量測量

11、、天然氣、火炬氣、氫氣等氣體流量測量

12、、啤酒生產(chǎn)過程中二氧化碳氣體流量測量

13、、水泥、卷煙、玻璃廠生產(chǎn)過程中氣體質(zhì)量流量測量

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